供應磷烷混合氣 PH3氣體

保定北方特種氣體有限公司，可以配比不同濃度，不同鋼瓶容積的磷烷、砷烷、硅烷、硼烷等電子特氣。原廠品質，請放心購買。 1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3: 6N H2O≤0.1，CO2≤0.1，N2≤0.1，O2+Ar≤0.2，AsH3≤0.1,，THC≤0.1 48.8L CGA350 100KGf/cm2 H2:O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632 作用 在電子氣家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大，是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。PH3 ，易燃、易爆、劇毒，其毒性 數為：PEL/TLV 0.3×10， STEL1×10，LC5020×1O，ZDLH200×10，屬劇毒危害品。